NGHIÊN CỨU HÌNH THÁI HỌC TINH THỂ CỦA MÀNG DÀY AlN CHẾ TẠO TRÊN ĐẾ ĐƯỢC TẠO RÃNH α-Al2O3 BẰNG NHIỄU XẠ TIA X

A STUDY ON CRYSTALLINE MORPHOLOGY OF AN AlN THICK FILM GROWN ON THE TRENCH-PARTERNED α-Al2O3 USING X-RAY DIFRACTION
Tác giả: TS. Đinh Thanh Khẩn,

Tóm tắt:

Hình thái học tinh thể như cấu trúc miền, sự nghiêng mạng trong màng tinh thể nhôm nitrua (AlN) đã được nghiên cứu sử dụng các phép đo nhiễu xạ tia X. Các kết quả cho thấy đế tạo rãnh α-Al2O3 có ảnh hưởng mạnh đến hình thái học tinh thể của màng AlN. Hình thái học tinh thể của màng AlN có tính chất bất đẳng hướng giữa hai hướng tinh thể và . Màng tinh thể AlN bao gồm một vài miền sắp xếp theo hướng và nghiêng theo các góc khác nhau đối với hướng này. Tuy nhiên, các miền tinh thể của màng AlN lại định hướng song song nhau trong hướng . Các kết quả này là do ảnh hưởng của cơ chế phát triển của màng AlN trên đế tạo rãnh α-Al2O3 và sự giãn đàn hồi của biến dạng dọc theo hướng phát triển của màng.

Từ khóa: màng AlN; miền tinh thể; nhiễu xạ tia X; đế được tạo rãnh; chế tạo tinh thể.

Abstract:

The crystalline morphology such as domain texturing, lattice tilting in a thick aluminum nitride (AlN) film grown on a trench-patterned α-Al2O3 template was investigated using X-ray diffraction measurements. The results clearly demonstrated that the trench-patterned template has a strong influence on the crystalline morphology in the thick AlN film. The crystalline morphology is anisotropic between the and directions. The AlN film contains several crystal domains, arranged along the direction and tilted toward each other in this direction but parallel to each other in the direction. These results can be attributed to the influence of the growth mechanism of the AlN film on the trench-patterned α-Al2O3 template and the elastic relaxation of strain along the growth direction.

Keywords: AlN film; crystal domain; X-ray diffraction; trench-patterned template; crystal growth.

Các bài báo khác của tác giả được đăng trên tạp chí

Số thứ tự Bài báo Tạp chí Trang Ngày đăng
132(01).2019930-03-19
220(03).20161730-09-16